Charles Townes construye el primer máser operativo en la Universidad de Columbia en 1953, dispositivo que amplifica microondas por emisión estimulada de radiación. Nikolái Básov y Alexander Prokhorov desarrollan de forma independiente el mismo principio en la URSS. El Premio Nobel de Física 1964 es otorgado conjuntamente a Townes, Básov y Prokhorov en reconocimiento explícito al desarrollo independiente simultáneo. El principio del máser es la base directa del láser, desarrollado en 1960.