En febrero de 1963, Frank Wanlass y Chih-Tang Sah, en los laboratorios de I+D de Fairchild Semiconductor, presentaron en la International Solid-State Circuits Conference (ISSCC) el concepto de circuitos lógicos CMOS: combinar transistores MOS de canal p y canal n en una configuración de simetría complementaria. El resultado eran circuitos que consumían una potencia estática cercana a cero (órdenes de magnitud menor que las tecnologías bipolares contemporáneas). Wanlass patentó la idea (patente US 3.356.858, presentada en junio de 1963, concedida en 1967). El CMOS acabaría convirtiéndose en el proceso de fabricación estándar para prácticamente todos los circuitos integrados VLSI modernos, desde microprocesadores hasta memorias.